光掩摸制造，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中承上啟下的重要一環(huán)，目前被美國(guó)和日本的企業(yè)壟斷，核心技術(shù)成為國(guó)內(nèi)企業(yè)入局的門檻。掩摸行業(yè)投入高、規(guī)模小、技術(shù)精密度高、且產(chǎn)品*等特點(diǎn)，讓很多擔(dān)心無回報(bào)的公司望而卻步，國(guó)內(nèi)規(guī)?；⑹袌?chǎng)化的掩摸企業(yè)。為了了解行業(yè)趨勢(shì)，加深對(duì)掩摸制造的理解，記者采訪了無錫迪思微電子有限公司(原華潤(rùn)掩摸)總經(jīng)理酆黎明。

重視光掩摸 保障產(chǎn)業(yè)鏈安全

問：光掩摸制造在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中的重要性體現(xiàn)在哪些方面？

酆黎明：與晶圓代工不同，光掩摸是一個(gè)小眾行業(yè)，沒有晶圓代工的度。但是他的意義卻很大。它與大家熟悉的一個(gè)例子相仿，就是相機(jī)的攝像技術(shù)。相機(jī)前期取景可以類比于設(shè)計(jì)工藝，都是選擇的景色或者線路。在拍照動(dòng)作之后，就是底片的處理。光掩摸起到的功能就像底片，它的重要性要從如下幾個(gè)方面去理解：首先，光掩摸是將前端設(shè)計(jì)思路變成終功能摸塊的一個(gè)步驟，這個(gè)轉(zhuǎn)折必須要用掩摸板來做。光掩摸工藝要求的精密程度很高，這點(diǎn)和底片很相似。如果底片出了非常微小的問題，影響的不單是一張照片，而是一系列的照片。所以對(duì)于掩摸板來說，大的要求就是*。要做到這點(diǎn)很難，集成電路是一個(gè)極其微小的工藝，在幾微米、甚至是幾納米的單位上做到*，需要非常精密的制作工藝，因此對(duì)管控、環(huán)境以及制作的要求非常高，這是光掩摸本身的特點(diǎn)。

其次，在整個(gè)上下游生態(tài)中，掩摸制造對(duì)產(chǎn)業(yè)鏈安全性的影響非常大。反觀整個(gè)流程，掩摸制造成為了從版圖到晶圓制造中間的一個(gè)重要過程。設(shè)計(jì)公司下達(dá)訂單，掩摸廠將設(shè)計(jì)公司發(fā)送過來的數(shù)據(jù)進(jìn)行處理，并將數(shù)據(jù)圖形轉(zhuǎn)移到掩摸版上，經(jīng)過一系列的工藝流程后，通過檢驗(yàn)的產(chǎn)品可以包裝出貨，發(fā)送給后面的制造流程。如果掩摸的整個(gè)工藝掌握在別人手里，會(huì)產(chǎn)生很大的安全隱患。例如，掩摸廠可以在不影響設(shè)計(jì)思路的前提下，私自增加一些小程序，產(chǎn)生發(fā)射功能。這種操作存在很大的可能性，前端的設(shè)計(jì)人員無法檢測(cè)到這些私加的程序，因?yàn)樵诓挥绊懺O(shè)計(jì)思路的前提下，設(shè)計(jì)廠只關(guān)注自己設(shè)計(jì)的功能是否實(shí)現(xiàn)，很少檢查是否存在多余的程序。而對(duì)于后面的制造廠，只會(huì)按照設(shè)計(jì)圖紙進(jìn)行制作，更不會(huì)檢查是否存在植入程序。因此，掩摸廠就成為了一個(gè)安全盲區(qū)。像英特爾、三星這樣的大廠，都將掩摸制造工藝緊緊握在手里，建立了自己的掩摸廠。但是，依舊有很多的代工廠沒有自己的掩摸制造，他們的技術(shù)秘密都能在掩摸板中體現(xiàn)出來，一旦數(shù)據(jù)產(chǎn)生了安全問題，被植入一些后門，根本無法察覺。

后，從整個(gè)世界來看，英特爾、三星等大廠的掩摸制造不會(huì)對(duì)外提供，目前服務(wù)企業(yè)的只有美國(guó)、日本的兩家企業(yè)，技術(shù)基本上被他們壟斷。對(duì)于中國(guó)來說，獨(dú)立的掩摸廠非常少，無錫迪思微電子有限公司，也就是原先的華潤(rùn)掩摸，算是較為成熟的公司之一。中國(guó)很多的掩摸工藝仍處于研究階段，并沒有被市場(chǎng)化，不像無錫迪思，能在技術(shù)上存在一定的積累。因此，一旦未來的情況發(fā)生變化，美、日兩家廠商不再向中國(guó)提供掩摸，那么中國(guó)集成電路的整條產(chǎn)業(yè)鏈都會(huì)停滯。所以，研發(fā)自己的掩摸制造對(duì)國(guó)家、對(duì)整個(gè)行業(yè)都十分重要。

資金、人才、設(shè)備成為挑戰(zhàn)

問：光掩摸制造面對(duì)的挑戰(zhàn)都有哪些？

酆黎明：光掩摸制造過程中，主要的兩因素是設(shè)備和工藝技術(shù)。就目前的情況來講，光掩摸制造大的問題是人才。光掩摸領(lǐng)域真正會(huì)操作設(shè)備的人員很少，懂工藝技術(shù)的就更鳳毛麟角。*掩摸廠的數(shù)目本就不多，人才大多數(shù)需要自己去培養(yǎng)，但是真正培養(yǎng)人才，會(huì)花很多的精力和時(shí)間。因此，人才成為了稀缺資源。設(shè)備可以一次性購(gòu)買進(jìn)來，但是人卻不行，人才是麻煩的。目前，無錫迪思的人才都是通過高校招聘，自己培養(yǎng)，很少?gòu)耐饷嬉M(jìn)。因?yàn)楣庋诿袠I(yè)很小，就幾家公司，彼此非常熟悉，如果去挖人，其他公司重要崗位也會(huì)缺人，不利于整個(gè)行業(yè)發(fā)展。所以說，目前行業(yè)面臨的大問題是人才。我們招進(jìn)來的學(xué)生，培養(yǎng)兩到三年，也僅僅是剛?cè)腴T，一般情況下，需要培養(yǎng)五年多左右，才能成為一名獨(dú)立的專業(yè)人員，所以，培養(yǎng)人才需要很大的時(shí)間成本。

除了人才之外，另一個(gè)問題就是設(shè)備。目前我們所有的設(shè)備都是從日本進(jìn)口，檢測(cè)設(shè)備被美國(guó)控制，每年生產(chǎn)的設(shè)備數(shù)量有限，不僅存在購(gòu)買競(jìng)爭(zhēng)，而且價(jià)格十分昂貴。我們隨便購(gòu)買一臺(tái)設(shè)備都能輕松地到三千萬元的檔次。此外，一臺(tái)曝光機(jī)需要一億多元，一臺(tái)檢測(cè)機(jī)臺(tái)能達(dá)到兩億元，光是這些設(shè)備，就貴的一塌糊涂。目前我們的工藝節(jié)點(diǎn)需要的設(shè)備，隨便一臺(tái)都是三四千萬元。所以資金也成為了我們要面臨的一大挑戰(zhàn)。對(duì)面資金缺少這個(gè)問題，我們正在努力地想一些解決方案，希望國(guó)內(nèi)的設(shè)備廠商提升自身技術(shù)，或者將一些設(shè)備進(jìn)行改裝，達(dá)成我們想要的功能。除此之外，我們還不斷地與國(guó)外的一些設(shè)備廠商進(jìn)行商談，尋求一些創(chuàng)新的合作方式，讓購(gòu)買設(shè)備的成本更低一點(diǎn)。對(duì)于國(guó)內(nèi)光掩摸企業(yè)，資金是很大的壓力，這個(gè)行業(yè)本身規(guī)摸不大，但是所需的設(shè)備、人才都需要很高的資金成本。

除此之外，國(guó)家或者社會(huì)對(duì)于光掩摸行業(yè)的關(guān)注度太低，國(guó)家對(duì)集成電路領(lǐng)域，例如晶圓代工、設(shè)計(jì)公司、整機(jī)企業(yè)，提供了很多支持政策，但是很少有政策關(guān)注到光掩摸行業(yè)，在進(jìn)出口上，我們太需要政策的支持。希望大家加強(qiáng)對(duì)光掩摸行業(yè)的關(guān)注度，提高對(duì)光掩摸的認(rèn)識(shí)，加強(qiáng)對(duì)光掩摸重要性的意識(shí)，在政策和生態(tài)上，加大對(duì)光掩摸行業(yè)的支持。我們投入的資金很大，如果不能順利運(yùn)作，不僅整個(gè)公司，而且整個(gè)集成電路都會(huì)面臨很大的風(fēng)險(xiǎn)。我們也正在努力，呼吁行業(yè)人士多交流，多互動(dòng)，多跟地方接觸，不能再像以前一樣，只知道埋頭苦干。

問：目前無錫迪思都取得了哪些成績(jī)？

酆黎明：光掩摸行業(yè)對(duì)于工藝的要求很高，技術(shù)上的工藝調(diào)整面對(duì)著很大的挑戰(zhàn)，特別是*的問題。此外，清洗等工藝步驟也會(huì)產(chǎn)生一些影響，這都是工藝上無法避免的問題。因此，光掩摸領(lǐng)域內(nèi)每一項(xiàng)的成績(jī)都來之不易。

我們承擔(dān)了很多技改項(xiàng)目，目前都已經(jīng)取得成果，項(xiàng)目已經(jīng)順利結(jié)題，只有幾項(xiàng)等著驗(yàn)收，驗(yàn)收的相關(guān)素材我們已經(jīng)準(zhǔn)備全面。2013年，我們的高精度微納結(jié)構(gòu)掩摸制造核心技術(shù)獲得了國(guó)家技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)，對(duì)我們整個(gè)團(tuán)隊(duì)起到了一定的鼓舞作用。

除了認(rèn)真完成國(guó)家項(xiàng)目外，隨著公司的發(fā)展我們也在積極地做研發(fā)，無錫迪思是全產(chǎn)業(yè)鏈上的一環(huán)，我們會(huì)按照整體的策略往前走。另一方面，我們也在逐步提高對(duì)技術(shù)質(zhì)量的要求，通過對(duì)標(biāo)的方式進(jìn)行管理。在資金方面，近幾年我們?cè)谠O(shè)備以及研發(fā)方面的投資總額近乎一個(gè)多億元，下一步將依照公司的規(guī)劃穩(wěn)步前行。目前，我們也在謀劃一些發(fā)展，希望推動(dòng)技術(shù)創(chuàng)新，推動(dòng)整個(gè)行業(yè)前進(jìn)。